Triklorosilan

Triklorosilan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2), keskin, boğucu bir hidrojen klorür kokusuna sahip, renksiz, oldukça uçucu bir sıvıdır. 31,8 derecede kaynayan ve nemle şiddetli reaksiyona giren bu madde, Siemens'in fotovoltaik güneş pilleri ve yarı iletken levhalar için yüksek{10}}saflıkta polisilikon üretme sürecinin temel hammaddesidir. TCS ayrıca silikon epitaksiyel levha büyütmede, organosilikon sentezinde (silikon yağları, kauçuklar, reçineler, birleştirme maddeleri), CVD silikon ince film biriktirmede ve organik sentezde seçici bir indirgeyici madde olarak yaygın olarak kullanılır. Endüstriyel sınıfta (%99,0'dan büyük veya eşit) ve elektronik sınıfta (9N saflığa kadar) mevcuttur. %1,2–%90,5'lik son derece geniş patlayıcı aralığıyla suyla reaksiyona giren ve son derece yanıcı (UN 1295, Sınıf 4.3+2.3, PG I) olarak sınıflandırılmıştır; yalnızca kuru nitrojen korumalı kesinlikle susuz koşullar altında kullanın.