Silikon Tetraklorür

Silikon Tetraklorür (SiCl₄, CAS 10026-04-7), nemle şiddetli reaksiyona girerek yoğun beyaz hidrojen klorür dumanları açığa çıkaran renksiz ila soluk sarı arası dumanlı bir sıvıdır. 57,65 derecede kaynar ve benzen, kloroform, karbon tetraklorür gibi susuz organik çözücülerde serbestçe çözünür. Önemli bir silikon kaynağı olarak SiCl₄, optik fiber preformların, yarı iletken dereceli silikon dioksitin, polisilikon ve organosilikon monomerlerin üretiminde yaygın olarak kullanılmaktadır. Ayrıca SiO₂ ve Si₃N₄ ince filmler için CVD proseslerinde ve ayrıca füme silika ve silan birleştirme maddelerinin üretiminde de kullanılır. Aşındırıcı madde olarak sınıflandırılmıştır (UN 1818, Sınıf 8, PG II); kuru nitrojen koruması altında, sudan, alkollerden ve bazlardan kesinlikle izole edilerek kullanılmalıdır.